半導体ロボット設計製作｜低価格｜特殊仕様対応｜特殊環境対応｜超高真空｜オーダーメイド
半導体ロボット設計製作
半導体搬送装置の開発設計～製作～組立までを一貫して承ります。部品検査、出荷検査を行い、ISO9000に準拠した品質保証体制を整えております。半導体装置メーカーへの納入実績２７年。真空雰囲気での搬送装置の為、高度な技術を必要とされます。
半導体ロボット設計製作の製品例
ロボットリンク部
特殊ベアリングの使用により高クリーン度を保って動作可能なリンク部です。
半導体基板搬送ハンドラー
概要
小型の真空処理装置のコア装置。処理前ウェハーカセット室よりウェハーを1枚ずつ Ａ室→Ｂ室→処理済ウェハーカセット室へ搬送する。概要図はこちらをクリック
ポイント
・他メーカーの真空ロボットで対応できない環境（高温のウェハー搬送、腐食性ガス環境下）で動作する。
・客先の仕様に合わせた設計
・動作テスト、リークテストまで完了した製品
・廉価版として圧空式ロータリーアクチュエーターを用いたものを開発し提供している。
小型の真空処理装置のコア装置。処理前ウェハーカセット室よりウェハーを1枚ずつ Ａ室→Ｂ室→処理済ウェハーカセット室へ搬送する。概要図はこちらをクリック
ポイント
・他メーカーの真空ロボットで対応できない環境（高温のウェハー搬送、腐食性ガス環境下）で動作する。
・客先の仕様に合わせた設計
・動作テスト、リークテストまで完了した製品
・廉価版として圧空式ロータリーアクチュエーターを用いたものを開発し提供している。